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此外,还包括真空规管,热电偶及其它与真空室相关的观测、控制元件的选用。
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本系统将用于低真空测量的ZJ53B型热偶规和用于中真空测量的ZJ10型电离规复合使用,并实现智能控制。
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采用本方法不仅能提高国产热偶规管的热稳定性,而且还不需要对原来所配的真空计作任何改动,故极易推广普及。
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由该方法制造的带自补偿热偶真空规管已申请中国专利国产热偶规管是我国目前应用最普遍的粗低真空测控传感器。
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